-
1 химическое осаждение из паровой фазы
(CVD)Химическое осаждение из паровой фазыМетод нанесения покрытий, в котором химические вещества сначала испаряются, а затем осаждаются на поверхность с помощью инертного газа-носителя, такого как азот. Например, осаждение металла проводится путем термического разложения его летучих соединений. CVD-процессы могут поддерживаться с помощью плазмы (PECVD = Plasma Enhanced CVD, усиленное плазмой CVD) или инициироваться ею (PACVD = активированное плазмой CVD). В качестве важных применений плазменных CVD-процессов выступают осаждение пленок аморфного углерода и кремния, а также пленок нитрида титана, карбида титана или нитрида кремния.Англо-русский словарь по нанотехнологиям > химическое осаждение из паровой фазы
-
2 Abscheiden aus der Dampfphase
Deutsch-Russische Wörterbuch der Chemie > Abscheiden aus der Dampfphase
-
3 evaporative deposition
English-Russian electronics dictionary > evaporative deposition
-
4 evaporative deposition
The New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > evaporative deposition
-
5 evaporation deposition
English-Russian dictionary of microelectronics > evaporation deposition
-
6 gas deposition
English-Russian dictionary of microelectronics > gas deposition
-
7 vapor deposition
English-Russian dictionary of microelectronics > vapor deposition
-
8 evaporation deposition
English-Russian big polytechnic dictionary > evaporation deposition
-
9 evaporative deposition
English-Russian dictionary on nuclear energy > evaporative deposition
-
10 gas deposition
English-Russian dictionary on nuclear energy > gas deposition
-
11 thin-film deposition
The English-Russian dictionary general scientific > thin-film deposition
-
12 deposition
electrolytic deposition — электролитическое осаждение, электроосаждение
-
13 dynamic deposition
English-Russian big polytechnic dictionary > dynamic deposition
-
14 deposition
The English-Russian dictionary general scientific > deposition
-
15 evaporative deposition
English-Russian dictionary of electronics > evaporative deposition
-
16 vapor deposition
English-Russian dictionary of electronics > vapor deposition
-
17 vapor plating
-
18 settling
осаждение из газовой фазы; осаждение из паровой фазы -
19 deposizione a vapore
осаждение из паровой фазы, парофазное осаждениеDictionnaire polytechnique italo-russe > deposizione a vapore
-
20 chemical vapor deposition
2) Электроника: химическое осаждение из газовой фазы3) Кристаллография: метод химического осаждения из газовой фазы4) Микроэлектроника: ХПО, химическое парофазное осаждение5) Полимеры: химическое осаждение в паровой фазе6) Автоматика: химическое осаждение из газовой среды, химическое осаждение из паровой или газовой среды, химическое осаждение из паровой среды7) Полупроводники: газофазное осаждение8) Макаров: химическое нанесение из газовой фазы, (CVD) химическое осаждение из паровой или газовой фазыУниверсальный англо-русский словарь > chemical vapor deposition
См. также в других словарях:
осаждение из паровой фазы — Процесс покрытия, разновидность осаждения материала в виде индивидуальных атомов или молекул. Наиболее общие PVD методы включают разбрызгивание и испарение. Разбрызгивание, которое является главным процессом PVD, использует перенос материала от… … Справочник технического переводчика
Осаждение из паровой фазы — Physical vapor deposition (PVD) Осаждение из паровой фазы. Процесс покрытия, разновидность осаждения материала в виде индивидуальных атомов или молекул. Наиболее общие PVD методы включают разбрызгивание и испарение. Разбрызгивание, которое… … Словарь металлургических терминов
осаждение из паровой фазы — garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. evaporation deposition; vapor deposition; vapor phase deposition vok. Abscheidung aus der Dampfphase, f; Dampfphasenabscheidung, f rus. осаждение из паровой фазы, n pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
плазмохимическое осаждение из паровой фазы — Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении с использованием ВЧ энергии. — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN PECVDplasma enhanced chemical vapor deposition … Справочник технического переводчика
быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы — Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN RTCVDrapid thermal chemical… … Справочник технического переводчика
избирательное химическое осаждение из паровой фазы — Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором тонкопленочный материал осаждается только в выбранных местах на поверхности подложки; избирательность осаждения управляется химическим составом поверхности, который можно локально… … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений — Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном… … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении — Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD).… … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении — Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN LPCVDLow Pressure Chemical Vapor Deposition … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы — Chemical Vapor Deposition (CVD) Химическое осаждение из паровой фазы Метод нанесения покрытий, в котором химические вещества сначала испаряются, а затем осаждаются на поверхность с помощью инертного газа носителя, такого как азот. Например,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
Химическое осаждение из паровой фазы — 1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) процесс нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика осаждается на нагретую подложку.… … Официальная терминология